针对市集传言台积电暂缓采购高数值孔径极紫外光刻机（HighNA EUV），在股东会上，有股东就此提问：若台积电现阶段废弃布局该配置，会不会重演早年英特尔遗弃 EUV 插足、最终制程发展滞后的前车之鉴，同期质疑贬责层是否对本身手艺实力过于自诩。
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台积电董事长魏哲家赶紧出头辟谣清醒：关系配置公司早已完成采购。他补充阐发，台积电面前正依托这批配置鼓励多项手艺研发，之是以暂未把 HighNA EUV 插足坐褥线量产，中枢考量出于资本管控。
魏哲家进一步阐发，由于High-NA EUV 当今的坐褥资本仍稍嫌偏高，台积电的政策是捏续优化其坐褥力并设法镌汰资本。公司会尽量发达该配置的上风，待时机老成后，就会细密进入坐褥线。他更幽默地补充，公司不仅莫得不投资，内容上还是买了，kaiyun体育(中国)2026世界杯何况买几台就不好意旨风趣讲，展现出台积电在先进制程布局上安谧且计上心来的气魄。
High-NA EUV 是当今半导体制造限制发轫进的光刻手艺，由荷兰ASML公司主导开荒。它在传统EUV（极紫外光刻，波长13.5nm）的基础上，将数值孔径（NA）从0.33大幅普及至0.55，通过更高的光集结才智和非对称光学系统，显贵提高了成像分袂率，可完结约8nm以致更小的要害尺寸，从而守旧2nm、1.4nm及将来更先进制程的芯片量产。High-NA EUV 的中枢上风在于能让晶体管结构愈加密集、性能更强，主要用于高性能AI芯片、先进逻辑芯片和高带宽内存的坐褥，不外其配置体积浩大、价钱高达3-4亿好意思元，也带来了更高的手艺复杂度和资本挑战，是赓续摩尔定律、推动半导体行业进入埃米时间的要害利器。
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